德國熱式流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。
選擇
（1）針對小、微量氣體流量，德國熱式流量計可用于單一組分氣體或固定比例的混合氣體測量。
（2）大口徑流量測量中可選用插入式的。
安裝使用注意事項
（1）安裝姿勢方面，大部分熱式分布式的質量流量計可任何姿勢（水平、垂直或傾斜）安裝，只要在安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點調整，但是有些儀表則對安裝姿勢敏感，必須嚴格按說明書進行。大部分浸入式流量計性能不受安裝姿勢影響，但是在低流速時要嚴格按說明書進行。
（2）前直管段方面，熱分布式不敏感，而帶測量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長度前直管段，按制造廠建議安裝。
（3）連接熱式的管道在常見范圍內的振動不會產生振動干擾；而插入式的檢測桿必須固定于管道并避開振動場所。
（4）德國熱式流量計響應時間長，不適用于脈動流。
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