半導(dǎo)體集成電路是電子工業(yè)的基礎(chǔ)性產(chǎn)業(yè)，在推動(dòng)國(guó)民經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)方面發(fā)揮著重要的作用。隨著半導(dǎo)體集成電路技術(shù)的飛速發(fā)展， 對(duì)于生產(chǎn)過(guò)程的潔凈度等級(jí)要求也隨之不斷提高。 潔凈度的控制成為了一項(xiàng)專(zhuān)業(yè)而又關(guān)鍵性的工程。分析凈化間控制系統(tǒng)中可能接觸到的主要污染及造成污染的主要原因， 并在實(shí)際管理過(guò)程中去控制和解決這些問(wèn)題。

       近幾十年來(lái)， 半導(dǎo)體集成電路行業(yè)得到了迅猛發(fā)展， 電子產(chǎn)品對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求越來(lái)越高。 尤其是對(duì)潔凈度的要求非常嚴(yán)格。如何有效控制生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度也成為了提高產(chǎn)品質(zhì)量和成品率的關(guān)鍵。

       1 ：人員的管理

       人是凈化間內(nèi)主要塵源之一。 尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中的活動(dòng)， 會(huì)明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。因此，要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度等級(jí)，對(duì)凈化間的人員活動(dòng)進(jìn)行控制，是有效的途徑和措施。

要把凈化間各項(xiàng)規(guī)章制度真正落到實(shí)處，最關(guān)鍵就是人員的日常管理，把人員凈化管理作為首要控制要素，所以應(yīng)該針對(duì)凈化間進(jìn)出人員進(jìn)行各項(xiàng)培訓(xùn)。

（1） 對(duì)新入職人員進(jìn)行凈化間潔凈知識(shí)培訓(xùn)。

（2） 對(duì)操作人員在凈化間操作設(shè)備，搬運(yùn)物料的專(zhuān)項(xiàng)培訓(xùn)。

（3） 對(duì)所有進(jìn)出凈化間的人員進(jìn)行衣著穿戴， 進(jìn)出制度的培訓(xùn)。

（4） 對(duì)所有人員在凈化車(chē)間的日常行為規(guī)范的培訓(xùn)。

       2 ：凈化服、更衣室的管理

       更換凈化服的最好方法就是要保證凈化服外表盡可能少受到污染， 更衣室一般分成三個(gè)區(qū)： 預(yù)更區(qū)、更衣區(qū)、凈化間入口區(qū)。

一個(gè)干凈整潔的更衣室，能夠很有效地保證凈化間的潔凈度，因此加強(qiáng)更衣室的管理非常有必要的；

首先，更衣室內(nèi)必須干凈整潔且有良好的通風(fēng)，不能有任何異味。異味主要來(lái)自人員不干凈的衣服、鞋襪，其中包含大量的酸性氣體，混入凈化間的話，會(huì)對(duì)產(chǎn)品表面產(chǎn)生腐蝕，影響產(chǎn)品的質(zhì)量。因此， 除了正常的凈化服清洗外，還必須要求人員注意個(gè)人衛(wèi)生，保持衣服、 鞋襪的干凈。

其次，對(duì)于凈化服：在一般生產(chǎn)區(qū)、控制區(qū)和潔凈區(qū)的工作服在樣式、顏色方面應(yīng)有明顯區(qū)分，不得混穿；

每位人員配備專(zhuān)用的衣柜，只用于存放非凈化服，并且要求人員脫掉非潔凈衣服時(shí)，不能把非潔凈衣服放在其他地方，必須直接放入衣柜中。在生產(chǎn)過(guò)程中，如果凈化服表面一旦有肉眼可見(jiàn)的污染物，必須及時(shí)更換并放入清洗區(qū)域中。

人員在進(jìn)入更衣室前、中、后，必須嚴(yán)格遵守凈化間的日常管理制度。比如：

（1） 必須先把原鞋子脫下放入鞋柜。 絕對(duì)禁止穿鞋直接進(jìn)入更衣室。

（2） 穿凈化服時(shí)，需先戴口罩，再穿凈化服，再穿潔凈鞋，再穿手套。

（3） 人員出凈化間后，需按照穿凈化服相反的順序脫掉凈化服。脫下的手套、口罩均一次性使用，應(yīng)立即丟入垃圾桶內(nèi)，嚴(yán)謹(jǐn)亂扔。

更衣室執(zhí)行每日常規(guī)清潔，每周徹底清潔一次，清潔時(shí)間為取走室內(nèi)需清潔的凈化服后進(jìn)行（清潔內(nèi)容包括更衣室的地面、墻面、衣柜表面，各個(gè)角落等）。

       3 ：風(fēng)淋室的進(jìn)出管理

       風(fēng)淋室是人員進(jìn)出凈化間所必須的通道， 同時(shí)起到氣閘室密閉凈化間的作用， 為了減少由于人員進(jìn)出所帶來(lái)的大量塵埃粒子，經(jīng)高效過(guò)濾器過(guò)濾后的潔凈氣流由可旋轉(zhuǎn)噴嘴從各個(gè)方向噴射至人身上，有效而迅速清除塵埃粒子，清除后的塵埃粒子再由過(guò)濾器重新循環(huán)到風(fēng)淋區(qū)域內(nèi)。 所以對(duì)于人員進(jìn)出風(fēng)淋室的管理十分重要。人員更換好凈化服后，必須通過(guò)風(fēng)淋室進(jìn)入凈化間。通過(guò)時(shí)，人員數(shù)量不能超出風(fēng)淋室的額定數(shù)量。

人員進(jìn)入風(fēng)淋室后，需站立在指定的位置，平抬雙手并轉(zhuǎn)動(dòng)身體。抬起雙手時(shí)，不得碰到風(fēng)淋室的任何表面，更不得私自調(diào)整風(fēng)淋室噴嘴的吹淋角度。

風(fēng)淋室為自動(dòng)吹林并聯(lián)鎖，人員進(jìn)入風(fēng)淋室后，必須在吹淋結(jié)束后才可打開(kāi)出口門(mén)，不得強(qiáng)行打開(kāi)出口門(mén)，當(dāng)風(fēng)淋室內(nèi)有人員在吹淋時(shí)，需要進(jìn)入的人員必須等到里面的人員離開(kāi)風(fēng)淋室并關(guān)上出口門(mén)后方可進(jìn)入。

       4：物料運(yùn)輸?shù)娜粘９芾?/span>

       為了避免在發(fā)料、配料過(guò)程中造成污染，所有物料進(jìn)入凈化間時(shí)，必須通過(guò)貨物通道進(jìn)入。 物料進(jìn)入凈化間前，貨物的外包裝均需去除，在制定位置對(duì)物料進(jìn)行清潔后，然后堆放在凈化間的專(zhuān)用托盤(pán)上，方可通過(guò)貨物通道進(jìn)入凈化間內(nèi)。 另外在物料搬運(yùn)時(shí)，人員避免依靠身體來(lái)搬運(yùn)物料。

在凈化間中，優(yōu)化工藝路線，盡量減少物料的搬運(yùn)和移動(dòng)，這也是減少污染的一個(gè)重要手段。

       5：吊頂空間的管理

       吊頂空間內(nèi)要禁止非專(zhuān)業(yè)人員進(jìn)入，吊頂空間配備專(zhuān)業(yè)的人員進(jìn)行定期的巡視，以消除任何潛在的污染，主要措施由以下幾項(xiàng)：

（1）定期檢查吊頂空間的所有設(shè)備的外表面應(yīng)清潔干凈、無(wú)油污、無(wú)浮塵、風(fēng)管無(wú)破損現(xiàn)象；空調(diào)系統(tǒng)無(wú)滲漏，無(wú)滴水現(xiàn)象。

（2）定期檢查吊頂空間內(nèi)的風(fēng)管所用螺栓、螺母、墊圈和鉚釘無(wú)腐蝕、氧化現(xiàn)象；鍍鋅鋼板不得有鍍鋅層嚴(yán)重?fù)p壞的現(xiàn)象，如表層大面積花白、鍍層粉化等。

（3）輸送可燃流體、有毒流體管道及其閥門(mén)，輸送高純氣體、高純水管道的閥門(mén)均不得有滲漏。

       6：新風(fēng)系統(tǒng)的日常管理

       在廠房設(shè)計(jì)之初，無(wú)塵車(chē)間空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置，應(yīng)遠(yuǎn)離本建筑或其它建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。在我們的日常管理過(guò)程中，為了避免由于新風(fēng)系統(tǒng)的問(wèn)題引起的凈化間顆粒增加，必須在日 常工作中嚴(yán)格執(zhí)行以下程序：

（1） 新風(fēng)量的監(jiān)測(cè)，保證進(jìn)入空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)量符合實(shí)際的要求.

（2） 按照規(guī)定定期清洗或更換系統(tǒng)中的初、中效過(guò)濾器。

（3） 定期巡視新風(fēng)系統(tǒng)管道有無(wú)泄漏。

（4） 定期檢查，清潔行風(fēng)系統(tǒng)管道， 避免微生物的滋生。

       7：FFU運(yùn)行的日常管理

       FFU是整個(gè)凈化間中保證凈化間潔凈度的關(guān)鍵部件，F(xiàn)FU的狀態(tài)是否良好決定著凈化間潔凈度是否達(dá)標(biāo)的關(guān)鍵因素。為了保證凈化間的潔凈度符合生產(chǎn)要求，我們著重從以下幾個(gè)方面來(lái)監(jiān)測(cè) FFU的運(yùn)行狀態(tài)：

（1）定期地、分區(qū)域地測(cè)試FFU的風(fēng)速，確認(rèn)FFU的運(yùn)行風(fēng)速是否處于0.35m/s± 20%的狀態(tài)。

（2）定期地、分區(qū)域地逐臺(tái)掃描FFU的高效過(guò)濾器，確認(rèn)高效過(guò)濾器是否正常工作，避免高效過(guò)濾器的泄漏導(dǎo)致凈化間內(nèi)的潔凈度超標(biāo)。

（3）預(yù)防性的抽查FFU高效過(guò)濾器的阻力，在FFU高效過(guò)濾器達(dá)到終阻力之前，分區(qū)域， 提前安排高效過(guò)濾器的更換；

（4） 定期測(cè)試凈化間內(nèi)各區(qū)域的潔凈度，如果在某區(qū)域監(jiān)測(cè)到粒子超標(biāo)現(xiàn)象，我們立即啟動(dòng)應(yīng)急響應(yīng)，對(duì)此區(qū)域的所有FFU高效過(guò)濾器進(jìn)行逐臺(tái)掃描，查找泄漏點(diǎn)，并總結(jié)引起泄漏的原因，采取相應(yīng)的糾正預(yù)防措施。

凈化間潔凈度的控制是一項(xiàng)非常專(zhuān)業(yè)而又復(fù)雜的綜合性工程，只有不斷提高人員的素質(zhì)，增強(qiáng)人員的自覺(jué)性和工作責(zé)任心，加強(qiáng)對(duì)凈化間的日常管理。不僅可以大幅度地降低凈化間的運(yùn)行成本，同時(shí)又可以提高產(chǎn)品的質(zhì)量和成品率。

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